1. CIKKEK
1.
Vágó György: Germániumdódák párválogatása
aránydetektorok számára
HIKI
Közleményei I. N.1 p.2 1961.
(Ld.: Függelék)
2.
Vágó György: Katód - fonalátvezetés mérés
HIKI
Közleményei I. N.1 p.29 1961
3.
Georg Vágó: Messung des Stromes
zwischen Heizfaden und Katode von Elektronenröhren
Tungsram
Technische Mitteilungen V.
N.506 p.24 1961.
Tungsram
Technische Mitteilungen VI.
N.2 p.53 1961.
5.
Vágó György: Tranzisztoros TV csík generátor
Rádiótechnika
XI. N.9. p.272 1966.
6.
Fóti E.,SzűcsT.,Vágó György:
Függőcseppes párologtatás elektronbombázással
Finommechanika
V. N.2 p.41 1966.
7.
Szűcs T., Vágó György: Vékony lemezanyagok
hegesztése elektronsugárral
Finommechanika
V. N.9 p.265 1966.
8.
Vágó György: Egyszerű eszköz felületi fényintenzitás eloszlás mérésére
Finommechanika
V. N.10 p.332 1966.
9.
Szűcs T., Vágó György: Közvetett fűtésű rúdkatód
HIKI
Közleményei VII. N.2 p.73 1967.
10. T.Szűcs, Gy.Vágó:
Ein indirekt geheiztes
Universal - Bolzenkatodsystem
für elektronenstrahl chweissmaschinen
ZIS -
Halle Mitteilungen XI. N.2 p.52 1967.
11.
Szűcs T.,Vágó Gy.:
Elektronsugaras vizsgálati módszerek
Elektrónikai Műszaki
Tájékoztató I. N.1 p.29 1967.
12. Galba B.,Szűcs T.,Vágó Gy.: Számítási módszer közvetett - fűtésű rúdkatód
felépítésének meghatározására
HIKI
Közleményei VII. N.3 P.71 1968.
13.
Szűcs T.,Vágó Gy.: Elektronsugaras
gőzölő ágyú
Finommechanika
VII. N.10 p.269 1969.
14.
Szűcs T.,Vágó Gy.: Vékonyrétegek
leválasztása vákuumban
Finommechanika
VIII. N.3 p.81 1969.
15.
Szűcs T.,Vágó Gy.: Vákuumgőzölés
elektronsugárral
Finommechanika
VII. N.10 p.311 1969.
16.
Szűcs T.,Vágó Gy.: Gőzölt
rétegek előállítása elektronsugárral
Mžszaki Élet XXIV.
N.16 p.21 1969.
17. Érczy L.,Szűcs T.,Vágó Gy.: Elektronsugaras gőzölő berendezés család
HIKI
Közleményei X. N.3 p.28 1970.
18.
Szűcs T.,Vágó Gy.: Vakuumbedamfung mit Elektronenstrahl
Experimentelle Technik der Physik XVIII. N.3
p.199 1970.
19. Biró T.,Szűcs T.,Uchrin Gy.,Vágó Gy.: Sugárzásmérés elektronsugaras hegesztő és gőzölő
berendezésekben
HIKI
Közleményei XII. N.2 p.21 1971.
20.
Szűcs T.,Vágó Gy.: Elektronbombázásos
gőzölő forrás (GF - 180)
Finommechanika
X. N.5 p.138 1971,
21.
Szűcs T.,Vágó Gy.: Rezisztek expozíciója elektronsugárral
Kép és
Hangtechnika XVII. N.6 p.161 1971.
22.
Szűcs T.,Vágó Gy.: Jelrögzítés
elektronsugárral
Elektrónikai Évkönyv p.3
1971.
23.
Herman Á.R.,Vágó Gy.: Fémion
forrás
Finommechanika
XI. N.8 p.233 1972.
24.
Szűcs T.,Vágó Gy.: Az
elektronsugaras gőzölés eredményei és távlatai
HIKI
Jubileumi Évkönyve p.376 1973.
25. Wiesner P.,Szűcs T.,Vágó Gy.: Az ionsugaras hegesztés lehetőségei
Finommechanika
Mikrotechnika XII. N.1 p.23 1973.
26. T.Szűcs,Gy.Vágó:
Ionenstrahlschwessen
ZIS -
Halle Mitteilungen XV. N.1 p.23 1973.
27.
Kormány T.,Szűcs T.,Vágó Gy.:
Az elektronsugár technológia helyzete Magyarországon
OMFB
tanulmány 1973.
28.
Glaser P.,Herman Á.R..,Vágó Gy.:
Az elektronsugaras gőzölés helyzete és távlatai
HIKI
Közleményei XIV. N.3 p.33 1974.
29.
Glaser P.,Herman Á.R.,Vágó Gy.,Mezey
G.,Kotay E.: Ionosan gőzölt rétegek visszaszórásos
vizsgálata szilíciumban
HIKI
Közleményei XV..4. p.51 1974.
30. P.Glaser, Á.R.Herman,
Gy.Vágó: The electron beam evaporation today and its future
prospect
Proc of
6.Yug.Vacuum Congres BILTEN XIV. p.67 1975.
31.
Fazekas Á., Vágó Gy.: Nagyérzékenységű
szög elfordulás mérő
Finommechanika
Mikrotechnika XV. N.6 p.176 1976.
32. P.Glaser, AR..Herman, Gy.Vágó: Ion evaporation
Thin Solid Films XXXII. N.1 p.69 1976.
33. P.Glaser, Á.R.Herman,
Gy.Vágó: Formation of various metal - semiconductor junction by means
ion evaporation
Vacuum XXVII. N.3
p.197 1977.
34.
Vágó Gy., ifj.Kertész G.: Rétegvastagság - távolságfüggés
módosulása nagysebességű párologtatáskor
HIKI
Közleményei XVIII. N.4 p.5 1978.
35.
Glaser P., Herman Á.R., Vágó Gy.:
Ionos gőzöléssel szerzett tapasztalatok
HIKI
Jubileumi Évkönyv IV. p.16 1976.
36. P.Glaser, G.Kertész,
Gy.Vágó.: Properties
of Thin Films obtained by a Penning
- type Sputtering Source
Acta Physica Hungarica XVIX. N.1 - 3. p.233 1980.
Acta Physica Hungarica XVIX. N.1 - 3. p.195 1980.
38.
Glaser P., Herman Á.R., Vágó Gy.:
Ionos párologtatási módszerek elektronsugaras párologtató forrás
használásával
Finommechanika
Mikrotechnika XX. N.4 p.97 1981.
39.
Glaser P., Kertész G., Vágó Gy.:
Tapasztalatok a HIM - 10 típusú Penning porlasztóforrással
Finommechanika
Mikrotechnika XX. N.12 p.353 1981.
40.
Vágó György: Töltéshordozós technológiák fejlesztése. Elektronsugaras és
ionos párologtatatás hazai alkalmazása
Kandidátusi értekezés 1982.
41.
Vágó György, Kertész Gábor: Mágneses tároló réteg és az azt borító védőréteg
előállítási technológiájának kidolgozása
HIKI
Kutatási jelentés 51017 1981.
Thin Solid Films CXVI. N. p.20 1984.
42. Backhausz L., Vágó Gy.: Szigetelő és vezető vékonyrétegek mechanikai
vizsgálata tűs módszerrel
Finommechanika
Mikrotechnika XXVI. N.4 p.123 1987.
Proc. of the 7. Czechslovak Conf. on Electronics and Vacuum Physics (Ed. Guldan & Kedro) Bratislava, p. 1074 1985.
44. Backhausz L., Vágó Gy.: Szigetelő és vezető vékonyrétegek mechanikai
vizsgálata tűs módszerrel
Finommechanika
Mikrotechnika XXIV. N.4 p. 123 1987.
XLII Bszeszojuznaja Naucsnaja Szesszia Poszvjaszcsennajaž, Dnyu Radio (Teziszü
Dokladov) Cs.1 p.95 1987.
46.
Vágó Gy., Kertész G., Backhausz L., Szakály I., Glaser P.: A MEV Penning - kisüléses katódporlasztó forrásai (PENTRON)
Hiradástechnika XXXVIII.
N.10. p.441 1986.
47. Gy. Vágó, L. Backhausz, A.R. Herman: Vacuum Physics Phenomena in Penning sputtering
Vacuum IV. N. 1 -
2. p.23 1990.
48. Vágó György: Integrált áramkörök
fémezése
Fejezetek a magyar mikroelektronika történetéből
213-224o. (Ed:Mojzes
Imre 2001)
49. Vágó György: Penning porlasztóforrás fejlesztése
Doktori alkotás 1996
2.ELŐADÁSOK
1. HAZAI FÓRUMOKON
50.
Vágó György: Elektronsugaras gőzölő források és alkalmazásuk
OPAKFI
tanfolyam 1968.
51.
Szűcs T., Vágó Gy.: Vákuumgőzölés
elektronsugárral
Alkalmazott
Vákuumtechnikai Ankét 1969.
52.
Vágó György: Elektronsugaras vákuum gőzölő berendezések fejlesztése a HIKI -
ben
OPAKFI
rendezvény 1969.
53.
Vágó György: Elektronsugaras párologtató források
OPAKFI
rendezvény 1971.
54 -
63. Vágó György: Vékonyrétegek előállítása elektronsugaras gőzölő forrás
segítségével
(10
előadásból álló sorozat.) BME Mérnök Tovább Képző Intézet 1971.
64.
Vágó György: Fémion forrás
OPAKFI
Alkalmazott Vákuumtechnikai Konferencia 1972.
65.
Bárány I., Vágó Gy.:
Alumínium nagysebességű gőzölése GF-180 - as
forrásból
GTE
Konferencia 1973.
66.
Bárány I., Vágó Gy.: Elektronsugárral
gőzölt fémrétegek a mikroelektronikai alkatrészgyártásban
"Micronica 73" HTE Ankét 1973.
67.
Szűcs T., Vágó Gy.: Az
elektronsugaras gőzölés helyzete és távlatai
HIKI
Jubileumi Tudományos Ülésszak 1973.
68.
Bárány I. ,Szűcs T., Vágó Gy.
: Az elektronsugaras gőzölés eredményei és távlatai
HIKI -
HTE Tudományos Ülésszak 1973.
69.
Vágó György: Beszámoló a Frankfurt/M - i ösztöndíjas tanulmányútról
ELFT
rendezvény 1977.
70.
Vágó György: Az elektronsugaras és ionos gőzölés eljárásainak fejlesztése
25 éves
HIKI Jubileumi Tudományos Ülésszak 1978.
71.
Kertész G., Vágó Gy.: Nagyteljesítményű
Penning porlasztóforrás
ELFT -
OPAKFI rendezvény 1979.
72.
Eszes N., Vágó Gy.:Új
eredmények a Penning porlasztóforrással
ELFT
rendezvény 1981.
73. Backhausz L., Karányi J., Kertész
G., Vágó Gy.: Penning
porlasztás kutatás - fejlesztésének és alkalmazásának hazai eredményei
OPAKFI
- ELFT rendezvény 1986.
74.
Vágó György: A Penning porlasztás (Poszter)
Fizikus
Vándorgyűlés 1986.
75.Vágó
György: A MEV rétegtechnológiai gyártmányai (párologtató és porlasztó
források)
IUVSTA
MNB - ELFT - MATE - OPAFKI szeminárium "Vákuum - és vékonyréteg
technológiai eszközök, mérőberendezések és anyagok hazai fejlesztése és
gyártása" 1987.
2. NEMZETKÖZI FÓRUMOKON
76. Gy.Vágó, T.Szűcs:
Vakuumbedampfung mit Elektronenstrahl
Physik und technik des Hochvakuums Arbeitstagung. Dresden (NDK)
1969.
77. T.Szűcs, Gy.Vágó:
Doklad o razrabotivjenüh
v VNR (HIKI) usztanovkah Iszpareenyijah
szpomoscsju elektronnovo lucsa
KGST
REÁB 6.1 - 4.4 szekcióülés Kolobzseg (Lengyelország)
1970.
78. T.Biró, T.Szűcs,
Gy.Vágó, Gy.Uchrin: Radiation Measurment on Electron Beam
Velder and Evaporator
I.Int.Symp. on Radiological Protection Problems Associated with Parasitic X-ray Emission Toulouse (Fr) 1970
79. Á.R.Herman, Á.Valkó,
Gy.Vágó: Aluminisation
of MOS IC - s
3.Colloque
Int. "AVISEM" Versailles (Fr) 1971.
80. T.Szűcs, Gy.Vágó:
Messungen an der Elektronenstrahl
Verdapfungs Anlage
"Physik und Technik des Hochvakuums - Dünne Schichten"
Arbeitstagung Dresden (ND) 1972.
81. P.Glaser, Á.R.Herman,
Gy.Vágó: Experience
with Electron Beam Evaporation Source
5.Chechoslovak
Conf.on Electronics and Vacuum
Physics Brno (Csehszlovákia) 1972.
82. P.Glaser, Á.R.Herman,
Gy.Vágó: Electron Beam Evaporation Today and its Future
6.Yugoslav
Vacuum Cong. Postojna (Jugoszlávia) 1973.
83. P.Glaser, Á.R.Herman,
Gy.Vágó: Ion Evaporation
3.Int.Conf.on
Thin Films Budapest
(Magyarország) 1975.
84. E.Farkas, Gy.Vágó:
Ionen verdampfung(Meghívott előadás)
"Physik und Technik des Hochvakuums - Dünne Schichten" 5.Tagung Dresden
(NDK) 1975.
85. P.Glaser, Á.R.Herman,
Gy.Vágó, E.Kótay, G.Mezei: Backscattering
Studies of Ion Evaporated Layers on Silicon
Int.Conf.on Ion Implantation in semiconductors Budapest (Magyarország) 1975.
KGST
REÁB szekcióülés Fridrichroda (NDK) 1976.
87. P.Glaser, Á.R.Herman,
Gy.Vágó: Formation
of Various Metal - Semiconductor
Junctions by Means of Ion evaporation
Int.Symp.on Vacuum and Thin Film Technology Uppsala (Svédország)
1976.
88. P.Glaser, Á.R.Herman,
Gy.Vágó: Formation of Mo - Si Junction
by Means of Ion Evaporation
6.Chechoslovak
Conf.on Electronics and Vacuum
Physics Bratislava (Csehszlovákia) 1976.
89. P.Glaser, Á.R.Herman,
Gy.Vágó: Experience
with Ion Evaporation
3.Int.Summer.School
of Vacuum Physics Fonyód
(Magyarország) 1977.
90. I.Bárány, G.Nemeskéri,
Gy.Vágó: Hochleistungs
Elektronenstrahl verdampfungsquellen
"Physik und Technik des Hochvakuum - Dünne Schichten" 6.Tagung Dresden
(NDK) 1978.
91. I.Bársony, P.Glaser, G.Kertész, Gy.Vágó:
Investigation on Aluminium film Obtained with a Penning typ Sputtering Source
3.Spring
Seminar on Electronics Technology Balatonfüred (Magyarország) 1979.
92. P.Glaser, Á.R.Herman,
Gy.Vágó: Ion Evaporation
Techniques Based on Electron Beam
Evaporation Source only (Meghívott
előadás)
Int.Conf.on Metallurgical Coatings San Diego California (USA) 1979.
93. P.Glaser, G.Kertész,
Gy.Vágó: Properties of Thin films Obtained
by Penning Sputtering Sources
1.Joint
Meeting ELFT - Austrian Vac.Soc.
Gyôr (Magyarország) 1979.
94. I.Bársony, P.Glaser, G.Kertész, Gy.Vágó:
Investigation on Aluminium Films Obtained with a Penning typ Sputtering
Source
3.Spring
Seminar on Electronic Technology
Balatonfüred (Magyarország) 1979.
95. P.Glaser, Gy.Vágó,
P.Barna, O.Geszti-Herkner: Some Physical and Technical Properties of Various Al Films
(POSTER)
5.Int.Symp.on
High Purity Materials in Sci.
and Techn. Dresden (NDK)
1980.
96. P.Glaser, G.Kertész,
Gy.Vágó: Erfahrungen mit
der Penning - Zerstaubugquelle
Typ HIM-10
"Hochvakuum Grenzfläche - Dünne Schichte" 7.Tagung Dresden (NDK) 1981.
97. Zs.Szász, G.Kertész,
M.Szilágyi, Gy.Vágó: Thickness Profile of Thin Films Produced
by Cylindrically Simetrical Sources
6.Int.Spring
Seminar on Electronics Technology Balatonfüred (Magyarország) 1983.
98. J.Karányi, Gy.Vágó,
M.Szilágyi: Thickness
Homogenyty vs.Target Erosion of Penning Sources
3. Joint Vacuum Conf.Hungaraian - Austrian - Yugoslavian Debrecen (Magyarország) 1985.
99. Gy.Vágó, G.Kertész,
N.Eszes : Recent Results in Penning
Sputtering
Symposium on Electronics Technology
Budapest (Magyarország) 1985.
100.
Gy.Vágó, G.Kertész,
J.Karányi, L.Backhausz: Penning Sputtering and its Role in
Microelectronic Technology
Symposium on Electronics Technology
Budapest (Magyarország) 1987.
101.
J.Karányi, Gy.Vágó, L.Backhausz: The
Basic Parameters of Magnetron-type
Sputtering Sources are the Thickness
Uniformity (POSTER)
1.European
Vacuum Conference
Manchester (Anglia) 1988.
102.
J.A.Brewer, Gy.Vágó: Design and Operation
of Planar Magnetron Sourcece to Deposit
Magnetic Materials at High Rates
from Thick Targets and Powders (POSTER)
1.Eropean
Vacuum Conference
Manchester (Anglia) 1988.
103.
Gy.Vágó,Á.R.Herman,
L.Backhausz: Vacuumphysical
Phenomena in Penning Sputtering (Meghívott előadás),
4.Joint
Vacuum Conf.Hungarian - Austrian - Yugoslavian Portorozs (Jugoszlávia) 1988.
104.
B.Szikora
, Gy.Vágó: Modelling of Penning-type
Sputtering
Proceedings of the17th Int.Spring Seminar on Electronics Technology Weising (Germany) 1994 p.327-332.
105.
B.Szikora, Gy. Vágó: Experimental Investigation
of Penning-type Sputtering
Proceedings of the 18th Int.Spring
Seminar on Electronics Technology Temesvar (Czech Rep.) 1995 p.249-253.
106.
B.Szikora, A.Őry,
Gy.Vágó: Plasma Feature of a Penning-type Sputtering Source
Proceedings of the 19th Int.Spring Seminar on Electronics Technology Göd (Hungary) 1996 ISBN 9634205054 p. 135.