VÁGÓ GYÖRGY PUBLIKÁCIÓI

1. CIKKEK

1. Vágó György: Germániumdódák párválogatása aránydetektorok számára
HIKI Közleményei I. N.1 p.2 1961. (Ld.: Függelék)

2. Vágó György: Katód - fonalátvezetés mérés
HIKI Közleményei I. N.1 p.29 1961

3. Georg Vágó: Messung des Stromes zwischen Heizfaden und Katode von  Elektronenröhren
Tungsram Technische Mitteilungen V. N.506 p.24 1961.

4. F.Fischer,G.Komarik,G,Vágó: Messung der dynamischen Kapazität von Germaniumdioden
Tungsram Technische Mitteilungen VI. N.2 p.53 1961.

5. Vágó György: Tranzisztoros TV csík generátor
Rádiótechnika XI. N.9. p.272 1966.

6. Fóti E.,SzűcsT.,Vágó György: Függőcseppes párologtatás elektronbombázással
Finommechanika V. N.2 p.41 1966.

7. Szűcs T., Vágó György: Vékony lemezanyagok hegesztése elektronsugárral
Finommechanika V. N.9 p.265 1966.

8. Vágó György: Egyszerű eszköz felületi fényintenzitás eloszlás mérésére
Finommechanika V. N.10 p.332 1966.

9. Szűcs T., Vágó György: Közvetett fűtésű rúdkatód
HIKI Közleményei VII. N.2 p.73 1967.

10. T.Szűcs, Gy.Vágó: Ein indirekt geheiztes Universal - Bolzenkatodsystem für elektronenstrahl chweissmaschinen
ZIS - Halle Mitteilungen XI. N.2 p.52 1967.

11. Szűcs T.,Vágó Gy.: Elektronsugaras vizsgálati módszerek
Elektrónikai Műszaki Tájékoztató I. N.1 p.29 1967.

12. Galba B.,Szűcs T.,Vágó Gy.: Számítási módszer közvetett - fűtésű rúdkatód felépítésének meghatározására
HIKI Közleményei VII. N.3 P.71 1968.

13. Szűcs T.,Vágó Gy.: Elektronsugaras gőzölő ágyú
Finommechanika VII. N.10 p.269 1969.

14. Szűcs T.,Vágó Gy.: Vékonyrétegek leválasztása vákuumban
Finommechanika VIII. N.3 p.81 1969.

15. Szűcs T.,Vágó Gy.: Vákuumgőzölés elektronsugárral
Finommechanika VII. N.10 p.311 1969.

16. Szűcs T.,Vágó Gy.: Gőzölt rétegek előállítása elektronsugárral
Mžszaki Élet XXIV. N.16 p.21 1969.

17. Érczy L.,Szűcs T.,Vágó Gy.: Elektronsugaras gőzölő berendezés család
HIKI Közleményei X. N.3 p.28 1970.

18. Szűcs T.,Vágó Gy.: Vakuumbedamfung mit Elektronenstrahl
Experimentelle Technik der Physik XVIII. N.3 p.199 1970.

19. Biró T.,Szűcs T.,Uchrin Gy.,Vágó Gy.: Sugárzásmérés elektronsugaras hegesztő és gőzölő berendezésekben
HIKI Közleményei XII. N.2 p.21 1971.

20. Szűcs T.,Vágó Gy.: Elektronbombázásos gőzölő forrás (GF - 180)
Finommechanika X. N.5 p.138 1971,

21. Szűcs T.,Vágó Gy.: Rezisztek expozíciója elektronsugárral
Kép és Hangtechnika XVII. N.6 p.161 1971.

22. Szűcs T.,Vágó Gy.: Jelrögzítés elektronsugárral
Elektrónikai Évkönyv p.3 1971.

23. Herman Á.R.,Vágó Gy.: Fémion forrás
Finommechanika XI. N.8 p.233 1972.

24. Szűcs T.,Vágó Gy.: Az elektronsugaras gőzölés eredményei és távlatai
HIKI Jubileumi Évkönyve p.376 1973.

25. Wiesner P.,Szűcs T.,Vágó Gy.: Az ionsugaras hegesztés lehetőségei
Finommechanika Mikrotechnika XII. N.1 p.23 1973.

26. T.Szűcs,Gy.Vágó: Ionenstrahlschwessen
ZIS - Halle Mitteilungen XV. N.1 p.23 1973.

27. Kormány T.,Szűcs T.,Vágó Gy.: Az elektronsugár technológia helyzete Magyarországon
OMFB tanulmány 1973.

28. Glaser P.,Herman Á.R..,Vágó Gy.: Az elektronsugaras gőzölés helyzete és távlatai
HIKI Közleményei XIV. N.3 p.33 1974.

29. Glaser P.,Herman Á.R.,Vágó Gy.,Mezey G.,Kotay E.: Ionosan gőzölt rétegek visszaszórásos vizsgálata szilíciumban
HIKI Közleményei XV..4. p.51 1974.

30. P.Glaser, Á.R.Herman, Gy.Vágó: The electron beam evaporation today and its future prospect
Proc of 6.Yug.Vacuum Congres BILTEN XIV. p.67 1975.

31. Fazekas Á., Vágó Gy.: Nagyérzékenységű szög elfordulás mérő
Finommechanika Mikrotechnika XV. N.6 p.176 1976.

32. P.Glaser, AR..Herman, Gy.Vágó: Ion evaporation
Thin Solid Films XXXII. N.1 p.69 1976.

33. P.Glaser, Á.R.Herman, Gy.Vágó: Formation of various metal - semiconductor junction by means ion evaporation
Vacuum XXVII. N.3 p.197 1977.

34. Vágó Gy., ifj.Kertész G.: Rétegvastagság - távolságfüggés módosulása nagysebességű párologtatáskor
HIKI Közleményei XVIII. N.4 p.5 1978.

35. Glaser P., Herman Á.R., Vágó Gy.: Ionos gőzöléssel szerzett tapasztalatok
HIKI Jubileumi Évkönyv IV. p.16 1976.

36. P.Glaser, G.Kertész, Gy.Vágó.: Properties of Thin Films obtained by a Penning - type Sputtering Source
Acta Physica Hungarica XVIX. N.1 - 3. p.233 1980.

37. G.Kertész, Gy.Vágó: Penning - type Sputtering Sources
Acta Physica Hungarica XVIX. N.1 - 3. p.195 1980.

38. Glaser P., Herman Á.R., Vágó Gy.: Ionos párologtatási módszerek elektronsugaras párologtató forrás használásával
Finommechanika Mikrotechnika XX. N.4 p.97 1981.

39. Glaser P., Kertész G., Vágó Gy.: Tapasztalatok a HIM - 10 típusú Penning porlasztóforrással
Finommechanika Mikrotechnika XX. N.12 p.353 1981.

40. Vágó György: Töltéshordozós technológiák fejlesztése. Elektronsugaras és ionos párologtatatás hazai alkalmazása
Kandidátusi értekezés 1982.

41. Vágó György, Kertész Gábor: Mágneses tároló réteg és az azt borító védőréteg előállítási technológiájának kidolgozása
HIKI Kutatási jelentés 51017 1981.

42. M.Czermann, Gy.Vágó, O.Geszti, M.Menyhárd: Correlation between the Structural and Physical Properties of ITO Thin Films and their Preparation parameters
Thin Solid Films CXVI. N. p.20 1984.

42. Backhausz L., Vágó Gy.: Szigetelő és vezető vékonyrétegek mechanikai vizsgálata tűs módszerrel
Finommechanika Mikrotechnika XXVI. N.4 p.123 1987.

43. G.Kertész, Gy.Vágó, D.Sarrach: On the Magnetic Field Shaping of Penning Sputtering Sources
Proc. of the 7. Czechslovak Conf. on Electronics and Vacuum Physics (Ed. Guldan & Kedro) Bratislava, p. 1074 1985.

44. Backhausz L., Vágó Gy.: Szigetelő és vezető vékonyrétegek mechanikai vizsgálata tűs módszerrel
Finommechanika Mikrotechnika XXIV. N.4 p. 123 1987.

45. M.Szilágyi, Gy.Vágó: Emisszionüjne charekteriszticseszkij isztocsnyikov iszparenyija i raszpülenyija
XLII Bszeszojuznaja Naucsnaja Szesszia Poszvjaszcsennajaž, Dnyu Radio (Teziszü Dokladov) Cs.1 p.95 1987.

46. Vágó Gy., Kertész G., Backhausz L., Szakály I., Glaser P.: A MEV Penning - kisüléses katódporlasztó forrásai (PENTRON)
Hiradástechnika XXXVIII. N.10. p.441 1986.

47. Gy. Vágó, L. Backhausz, A.R. Herman: Vacuum Physics Phenomena in Penning sputtering
Vacuum IV. N. 1 - 2. p.23 1990.

48. Vágó György: Integrált áramkörök fémezése
Fejezetek a magyar mikroelektronika történetéből 213-224o. (Ed:Mojzes Imre 2001)

49. Vágó György: Penning porlasztóforrás fejlesztése
Doktori alkotás 1996

2.ELŐADÁSOK

1. HAZAI FÓRUMOKON

50. Vágó György: Elektronsugaras gőzölő források és alkalmazásuk
OPAKFI tanfolyam 1968.

51. Szűcs T., Vágó Gy.: Vákuumgőzölés elektronsugárral
Alkalmazott Vákuumtechnikai Ankét 1969.

52. Vágó György: Elektronsugaras vákuum gőzölő berendezések fejlesztése a HIKI - ben
OPAKFI rendezvény 1969.

53. Vágó György: Elektronsugaras párologtató források
OPAKFI rendezvény 1971.

54 - 63. Vágó György: Vékonyrétegek előállítása elektronsugaras gőzölő forrás segítségével
(10 előadásból álló sorozat.) BME Mérnök Tovább Képző Intézet 1971.

64. Vágó György: Fémion forrás
OPAKFI Alkalmazott Vákuumtechnikai Konferencia 1972.

65. Bárány I., Vágó Gy.: Alumínium nagysebességű gőzölése GF-180 - as forrásból
GTE Konferencia 1973.

66. Bárány I., Vágó Gy.: Elektronsugárral gőzölt fémrétegek a mikroelektronikai alkatrészgyártásban
"Micronica 73" HTE Ankét 1973.

67. Szűcs T., Vágó Gy.: Az elektronsugaras gőzölés helyzete és távlatai
HIKI Jubileumi Tudományos Ülésszak 1973.

68. Bárány I. ,Szűcs T., Vágó Gy. : Az elektronsugaras gőzölés eredményei és távlatai
HIKI - HTE Tudományos Ülésszak 1973.

69. Vágó György: Beszámoló a Frankfurt/M - i ösztöndíjas tanulmányútról
ELFT rendezvény 1977.

70. Vágó György: Az elektronsugaras és ionos gőzölés eljárásainak fejlesztése
25 éves HIKI Jubileumi Tudományos Ülésszak 1978.

71. Kertész G., Vágó Gy.: Nagyteljesítményű Penning porlasztóforrás
ELFT - OPAKFI rendezvény 1979.

72. Eszes N., Vágó Gy.:Új eredmények a Penning porlasztóforrással
ELFT rendezvény 1981.

73. Backhausz L., Karányi J., Kertész G., Vágó Gy.: Penning porlasztás kutatás - fejlesztésének és alkalmazásának hazai eredményei
OPAKFI - ELFT rendezvény 1986.

74. Vágó György: A Penning porlasztás (Poszter)
Fizikus Vándorgyűlés 1986.

75.Vágó György: A MEV rétegtechnológiai gyártmányai (párologtató és porlasztó források)
IUVSTA MNB - ELFT - MATE - OPAFKI szeminárium "Vákuum - és vékonyréteg technológiai eszközök, mérőberendezések és anyagok hazai fejlesztése és gyártása" 1987.
 

 

2. NEMZETKÖZI FÓRUMOKON

76. Gy.Vágó, T.Szűcs: Vakuumbedampfung mit Elektronenstrahl
Physik und technik des Hochvakuums Arbeitstagung. Dresden (NDK) 1969.

77. T.Szűcs, Gy.Vágó: Doklad o razrabotivjenüh v VNR (HIKI) usztanovkah Iszpareenyijah szpomoscsju elektronnovo lucsa
KGST REÁB 6.1 - 4.4 szekcióülés Kolobzseg (Lengyelország) 1970.

78. T.Biró, T.Szűcs, Gy.Vágó, Gy.Uchrin: Radiation Measurment on Electron Beam Velder and Evaporator
I.Int.Symp. on Radiological Protection Problems Associated with Parasitic X-ray Emission Toulouse (Fr) 1970

79. Á.R.Herman, Á.Valkó, Gy.Vágó: Aluminisation of MOS IC - s
3.Colloque Int. "AVISEM" Versailles (Fr) 1971.

80. T.Szűcs, Gy.Vágó: Messungen an der Elektronenstrahl Verdapfungs Anlage
"Physik und Technik des Hochvakuums - Dünne Schichten"
Arbeitstagung Dresden (ND) 1972.

81. P.Glaser, Á.R.Herman, Gy.Vágó: Experience with Electron Beam Evaporation Source
5.Chechoslovak Conf.on Electronics and Vacuum Physics Brno (Csehszlovákia) 1972.

82. P.Glaser, Á.R.Herman, Gy.Vágó: Electron Beam Evaporation Today and its Future
6.Yugoslav Vacuum Cong. Postojna (Jugoszlávia) 1973.

83. P.Glaser, Á.R.Herman, Gy.Vágó: Ion Evaporation
3.Int.Conf.on Thin Films Budapest (Magyarország) 1975.

84. E.Farkas, Gy.Vágó: Ionen verdampfung(Meghívott előadás)
"Physik und Technik des Hochvakuums - Dünne Schichten" 5.Tagung Dresden (NDK) 1975.

85. P.Glaser, Á.R.Herman, Gy.Vágó, E.Kótay, G.Mezei: Backscattering Studies of Ion Evaporated Layers on Silicon
Int.Conf.on Ion Implantation in semiconductors Budapest (Magyarország) 1975.

86. G.Nemeskéri, Gy.Vágó: Rezultatü razrabotki isztocsnyikov naplenyija sz elektronnüm lucsom
KGST REÁB szekcióülés Fridrichroda (NDK) 1976.

87. P.Glaser, Á.R.Herman, Gy.Vágó: Formation of Various Metal - Semiconductor Junctions by Means of Ion evaporation
Int.Symp.on Vacuum and Thin Film Technology Uppsala (Svédország) 1976.

88. P.Glaser, Á.R.Herman, Gy.Vágó: Formation of Mo - Si Junction by Means of Ion Evaporation
6.Chechoslovak Conf.on Electronics and Vacuum Physics Bratislava (Csehszlovákia) 1976.

89. P.Glaser, Á.R.Herman, Gy.Vágó: Experience with Ion Evaporation
3.Int.Summer.School of Vacuum Physics Fonyód (Magyarország) 1977.

90. I.Bárány, G.Nemeskéri, Gy.Vágó: Hochleistungs Elektronenstrahl verdampfungsquellen
"Physik und Technik des Hochvakuum - Dünne Schichten" 6.Tagung Dresden (NDK) 1978.

91. I.Bársony, P.Glaser, G.Kertész, Gy.Vágó: Investigation on Aluminium film Obtained with a Penning typ Sputtering Source
3.Spring Seminar on Electronics Technology Balatonfüred (Magyarország) 1979.

92. P.Glaser, Á.R.Herman, Gy.Vágó: Ion Evaporation Techniques Based on Electron Beam Evaporation Source only (Meghívott előadás)
Int.Conf.on Metallurgical Coatings San Diego California (USA) 1979.

93. P.Glaser, G.Kertész, Gy.Vágó: Properties of Thin films Obtained by Penning Sputtering Sources
1.Joint Meeting ELFT - Austrian Vac.Soc. Gyôr (Magyarország) 1979.

94. I.Bársony, P.Glaser, G.Kertész, Gy.Vágó: Investigation on Aluminium Films Obtained with a Penning typ Sputtering Source
3.Spring Seminar on Electronic Technology Balatonfüred (Magyarország) 1979.

95. P.Glaser, Gy.Vágó, P.Barna, O.Geszti-Herkner: Some Physical and Technical Properties of Various Al Films (POSTER)
5.Int.Symp.on High Purity Materials in Sci. and Techn. Dresden (NDK) 1980.

96. P.Glaser, G.Kertész, Gy.Vágó: Erfahrungen mit der Penning - Zerstaubugquelle Typ HIM-10
"Hochvakuum Grenzfläche - Dünne Schichte" 7.Tagung Dresden (NDK) 1981.

97. Zs.Szász, G.Kertész, M.Szilágyi, Gy.Vágó: Thickness Profile of Thin Films Produced by Cylindrically Simetrical Sources
6.Int.Spring Seminar on Electronics Technology Balatonfüred (Magyarország) 1983.

98. J.Karányi, Gy.Vágó, M.Szilágyi: Thickness Homogenyty vs.Target Erosion of Penning Sources
3. Joint Vacuum Conf.Hungaraian - Austrian - Yugoslavian Debrecen (Magyarország) 1985.

99. Gy.Vágó, G.Kertész, N.Eszes : Recent Results in Penning Sputtering
Symposium on Electronics Technology Budapest (Magyarország) 1985.

100. Gy.Vágó, G.Kertész, J.Karányi, L.Backhausz: Penning Sputtering and its Role in Microelectronic Technology
Symposium on Electronics Technology Budapest (Magyarország) 1987.

101. J.Karányi, Gy.Vágó, L.Backhausz: The Basic Parameters of Magnetron-type Sputtering Sources are the Thickness Uniformity (POSTER)
1.European Vacuum Conference Manchester (Anglia) 1988.

102. J.A.Brewer, Gy.Vágó: Design and Operation of Planar Magnetron Sourcece to Deposit Magnetic Materials at High Rates from Thick Targets and Powders (POSTER)
1.Eropean Vacuum Conference Manchester (Anglia) 1988.

103. Gy.Vágó,Á.R.Herman, L.Backhausz: Vacuumphysical Phenomena in Penning Sputtering (Meghívott előadás),
4.Joint Vacuum Conf.Hungarian - Austrian - Yugoslavian Portorozs (Jugoszlávia) 1988.

104. B.Szikora , Gy.Vágó: Modelling of Penning-type Sputtering
Proceedings of the17th Int.Spring Seminar on Electronics Technology Weising (Germany) 1994 p.327-332.

105. B.Szikora, Gy. Vágó: Experimental Investigation of Penning-type Sputtering
Proceedings of the 18th Int.Spring Seminar on Electronics Technology Temesvar (Czech Rep.) 1995 p.249-253.

106. B.Szikora, A.Őry, Gy.Vágó: Plasma Feature of a Penning-type Sputtering Source
Proceedings of the 19th Int.Spring Seminar on Electronics Technology Göd (Hungary) 1996 ISBN 9634205054 p. 135.